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三(二甲基氨基)硅烷
  • 產品名稱： 三(二甲基氨基)硅烷
  • 英文名稱： Tris(dimethylamino)silane(3DMAS)
  • CAS No.： 15112-89-7
  • 分子式： C6H19N3Si
  • 分子量： 161.32
  • 規　格： 3N(ICP-MS 5N)
  • 沸　點： 142℃
  • 閃　點： -8.89℃
  • 熔　點： -90 ℃
  • 火災分類： 甲類
  • 物理狀態/顏色： 液體/無色至淺黃色
  • 應　用： 電子材料化學氣相沉積和原子層沉積的前體材料

下載附件： 三(二甲基氨基)硅烷（Safety Data Sheet）

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